説 明
CTS-STBS-XX-A MINI FOUP SENSOR
CTS-STBS-AH-1-100-00
(NPN Type)
(オムロンEE0SA801A
代替可能)
Wafer
Carrierの接触を利用した検出で信頼性向上
Head,
Cable, Connectorの部品で構成,
Customize可能
定格駆動電流:15mA以下
12
~ 24 VDC の動作領域1.5 ms
以内の応答速度
逆電圧·過熱防止回路内蔵
Indicate LEDで動作状態確認可能
<製品特徴>
•
Wafer Carrierの接触を利用した検出で信頼性向上
•
Head, Cable, Connectorの部品で構成,
Customize可能
• 定格駆動電流:
15mA 以下
•
12 ~24 V DCの動作領域
•
1.5ms 以内の応答速度
•
逆電圧・過熱防止回路内蔵
•
Indicate LEDで動作状態確認可能